Электронный микроскоп - это прибор, который позволяет рассматривать микроскопические объекты с увеличением до 10 в шестой степени раз.
Увеличение изображения становится возможным благодаря использованию пучка заряженных частиц энергией 200 кэВ и более. В этом заключается его основное отличие от стандартного микроскопа, где используется световой поток.
Лучшие современные электронные микроскопы дают увеличение, чуть менее одного ангстрема. Для генераций потока электронов используют обычный катод который изготавливают из вольфрама и сплавов лантана с бором, иногда вместо термоэмиссионных катодов используют катоды Шоттки.
Сгенерированные частицы разгоняют до энергии 200 кэВ (для этого подают напряжение от 20 кВ до 1 МВ).
Для контроля потока заряженных частиц используют магнитные линзы, они корректируют движение электронов в трубке прибора. Достигая образца часть зарядов рассеивается, а часть нет. Прошедшие через образец заряды несут информацию о объекте, далее поток увеличивают и подают на экран прибора.
Как правило экран изготавливают из сульфида цинка, но могут использовать и обычные фотопластинки. В последние десятилетия для отображения стали использовать детекторы ПЗС, они позволяют получить качественное цифровое изображение.
Электронные микроскопы нашли свое применение во многих отраслях человеческой деятельности. Их используют при созданий микросхем, кристаллов для процессоров, при получений нанотехнологических материалов.
Такие приборы используют для анализа дефектов конструкционных материалов, с их помощью также исследуют структуру металла.
В медицине и биологии такие приборы используют в вирусологии, токсикологии, томографии.
На базе обычных электронных микроскопов создаются более совершенные приборы с другими возможностями.